مقياس تدفق الغاز هو أداة لقياس تدفق الغاز. يتم تثبيته في خط الأنابيب لتسجيل كمية الغاز المتدفق عبره. يمكن قياس الغاز ، الهواء ، النيتروجين ، الأسيتيلين ، الفوسجين ، الهيدروجين ، الغاز الطبيعي ، النيتروجين ، غاز البترول المسال ، بيروكسيد الهيدروجين ، غاز المداخن ، الميثان ، البوتان ، الكلور ، غاز الوقود ، الغاز الحيوي ، ثاني أكسيد الكربون ، الأكسجين ، الهواء المضغوط ، غاز الأرجون ، التولوين ، البنزين ، الزيلين ، كبريتيد الهيدروجين ، ثاني أكسيد الكبريت ، الأمونيا ، إلخ.
تستخدم عدادات تدفق كتلة الغاز الحراري مبدأ الانتشار الحراري ، وهي تقنية ذات أداء ممتاز وموثوقية عالية في ظل الظروف القاسية. تتضمن عناصر الاستشعار النموذجية مقاومتين حراريتين (بلاتينيوم RTD) ، أحدهما مستشعر سرعة ، والآخر مستشعر درجة حرارة يعوض تلقائيًا عن التغيرات في درجة حرارة الغاز. عندما يتم وضع جهازي RTD في الوسط ، يتم تسخين مستشعر السرعة إلى درجة حرارة ثابتة أعلى من درجة الحرارة المحيطة ، ويتم استخدام مستشعر درجة الحرارة الآخر لاستشعار درجة حرارة الوسط. يتم حساب معدل تدفق الكتلة للغاز المتدفق عبر مستشعر السرعة بمقدار نقل الحرارة لعنصر الاستشعار. مع زيادة معدل تدفق الغاز ، تزداد الحرارة المأخوذة من الوسط. تنخفض درجة حرارة المستشعر وفقًا لذلك. من أجل الحفاظ على درجة الحرارة ثابتة ، يجب زيادة تيار العمل عبر المستشعر ، ويتناسب حجم هذا الجزء المتزايد من التيار مع معدل تدفق الوسط.